功能介紹
1. 檢測(cè)外延片PL（光致發(fā)光）光譜和白光反射光譜。
2. 通過外延片PL光譜測(cè)量外延片逐點(diǎn)的：峰值波長(zhǎng)（WLP）、主波長(zhǎng)（WLD）、光譜半寬（HW）、積分光強(qiáng)（INT）、峰強(qiáng)度（PI）。
3. 通過白光反射光譜測(cè)量外延片逐點(diǎn)的：薄膜厚度（Thickness）和反射率（PR）。
4. 顯示及輸出各被測(cè)量參數(shù)的均值（Mean）、均方差（Std）、標(biāo)準(zhǔn)差率（CV）等統(tǒng)計(jì)結(jié)果，并以圖形形式顯示各項(xiàng)參數(shù)的Mapping分布。
5. 其他選配功能：
· 可選配多個(gè)激光器，最多可配4個(gè)激光器。
· 可配置測(cè)量各波長(zhǎng)段（UV-VIS-NIR）DBR（分布布拉格反射）數(shù)據(jù)。
· 可配置外延片翹曲度測(cè)量功能。
· 可配置激光打標(biāo)機(jī)。
· 可配置光功率傳感器。（對(duì)應(yīng)Photo Detector）
設(shè)備機(jī)型
IM-1130（移動(dòng)機(jī)柜手動(dòng)型PL譜儀）：IM-1130型PL譜儀采用可移動(dòng)機(jī)柜形式，方便操作，標(biāo)準(zhǔn)機(jī)型可測(cè)量2、4、6寸片，其中2寸片可一次測(cè)量4片，根據(jù)客戶需要可配置一次測(cè)量9個(gè)2寸片的載物臺(tái)。
IM-2040（傾斜料倉(cāng)2、4寸自動(dòng)型PL譜儀）：IM-2000全自動(dòng)型PL譜儀是針對(duì)2、4寸片專門設(shè)計(jì)的自動(dòng)機(jī)型。該型號(hào)設(shè)備使用標(biāo)準(zhǔn)cassette料盒為載具，一次最多可放置3個(gè)料盒，共75片外延片。
IM-3000（雙臂機(jī)械手型PL譜儀）IM-3000雙臂機(jī)械手型PL譜選用柱坐標(biāo)機(jī)械手自動(dòng)取放片，自動(dòng)正片，使用標(biāo)準(zhǔn)cassette料盒為載具，共設(shè)有3個(gè)工位，一次最多可測(cè)75只外延片。