功能介紹
1. 檢測外延片PL（光致發(fā)光）光譜和白光反射光譜。
2. 通過(guò)外延片PL光譜測量外延片逐點(diǎn)的：峰值波長(cháng)（WLP）、主波長(cháng)（WLD）、光譜半寬（HW）、積分光強（INT）、峰強度（PI）。
3. 通過(guò)白光反射光譜測量外延片逐點(diǎn)的：薄膜厚度（Thickness）和反射率（PR）。
4. 顯示及輸出各被測量參數的均值（Mean）、均方差（Std）、標準差率（CV）等統計結果，并以圖形形式顯示各項參數的Mapping分布。
5. 其他選配功能：
· 可選配多個(gè)激光器，最多可配4個(gè)激光器。
· 可配置測量各波長(cháng)段（UV-VIS-NIR）DBR（分布布拉格反射）數據。
· 可配置外延片翹曲度測量功能。
· 可配置激光打標機。
· 可配置光功率傳感器。（對應Photo Detector）
設備機型
IM-1130（移動(dòng)機柜手動(dòng)型PL譜儀）：IM-1130型PL譜儀采用可移動(dòng)機柜形式，方便操作，標準機型可測量2、4、6寸片，其中2寸片可一次測量4片，根據客戶(hù)需要可配置一次測量9個(gè)2寸片的載物臺。
IM-2040（傾斜料倉2、4寸自動(dòng)型PL譜儀）：IM-2000全自動(dòng)型PL譜儀是針對2、4寸片專(zhuān)門(mén)設計的自動(dòng)機型。該型號設備使用標準cassette料盒為載具，一次最多可放置3個(gè)料盒，共75片外延片。
IM-3000（雙臂機械手型PL譜儀）IM-3000雙臂機械手型PL譜選用柱坐標機械手自動(dòng)取放片，自動(dòng)正片，使用標準cassette料盒為載具，共設有3個(gè)工位，一次最多可測75只外延片。